技术编号：2793759
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种移动装置，且特别涉及一种光刻机照明模块的移动装置。背景技术在步进或扫描式光刻 机中，由于照明模块一般在掩模台之上，并且垂向相隔空间狭小，如果需要对掩模台进行维护、维修，如对掩模台的承版台擦拭、清洗，对驱动电机及气缸进行维护、维修、更换安装等，须首先将掩模台上部的照明模块、对准模块移开，露出掩模台维护、维修部位，待维护或维修工作结束后再将照明模块恢复原位。因此，照明模块的移入移出需要保证足够的重复定位精度，以保证快速恢复整机工作。目前技术中用于...
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