技术编号:27940941
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及太赫兹检测技术领域,更具体地涉及一种太赫兹探测装置的制造方法及太赫兹探测设备。背景技术.太赫兹波是指振荡频率在.thz至thz之间的电磁波,该类电磁波具有穿透性好,单光子能量低、光谱信息丰富等特点,在安检成像、光谱探测、信息通讯等领域具有重要的应用价值。.相关技术中,探测装置的检测器需要安装透镜,从而对信号进行汇聚,一般通过机械件对检测器的衬底进行夹持,并通过机械件加工安装透镜的区域。由于机械加工的精度受到环境温度影响较大,机械夹持部件在进行安装透镜的区域加工时,机械件...
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