滤光器、滤光器模块、光谱测量仪及光设备的制作方法技术资料下载

技术编号:2794125

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本发明涉及一种滤光器、滤光器模块、光谱测量仪及光设备。 背景技术目前,在光谱测量仪等中一直使用干涉滤光器等的滤光器。作为干涉滤光器的一个形式,公知有法布里珀罗标准具干涉滤光器(下面,有时称为标准具滤光器或简称为标准具(etalon))。例如,日本专利文献1所示的透过波长为可变的透过波长可变干涉滤光器(以下,有时称为可变间距标准具滤光器或简称为可变间距标准具)具有一对基板和光学膜(反射膜),其通过外力使光学膜(反射膜)间的间距的大小变化,从而可变地控制透过波...
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