技术编号：2794219
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置，还可广泛应用于工业自动化中的工件送取传输等方面。背景技术随着电子束曝光机技术的发展，曝光系统越来越需要快速、准确的将片夹放在承片台上，而且片夹在承片台上的定位精度将直接影响到曝光机的曝光质量，片夹定位的精度是曝光机高质量曝光图形的前提条件和根本保证。该装置保证了片夹在承片台上的水平方向上的准确定位及锁紧，使片夹在曝光过程中不会因震动引起水平方向上的偏移和摆动。原有的承片台是靠限位开关确定片夹上片位置，水平方向...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。