光源装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2794220

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本发明是关于例如作为在进行半导体及液晶基板、彩色滤光片等的制造工序的曝光处理时的曝光用光源、或者作为投影机装置的光源所使用的光源装置。背景技术例如,作为在进行半导体及液晶基板、彩色滤光片等的制造工序的曝光处理时所使用的曝光用光源,公知具有如图4所示的紫外线波长区域的多个LED元件多个被配置成面状而构成的LED发光部80,将从该LED发光部80放射的放射光,通过适当的聚光光学系统来加以聚光,并射出至曝光面S的构造的光源装置(例如参照专利文献1)。在图4中, ...
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