技术编号：2795153
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用在光刻投射设备中的掩模，其中的光刻投射设备包括用来提供投射辐射束的辐射系统；用来支撑一掩模的支撑结构，其中该掩模用以根据所需图案来对投射光束形成图案；用来固定一基底的基底台；和用来将形成图案的射束投射在基底靶部上的投射系统。背景技术 此处使用的术语“图案化装置”应当广义地理解为涉及能够使入射辐射束赋予带图案的截面的部件，其中所述图案与要在基底靶部上形成的图案一致，掩模是该“图案化装置”的一个实例；术语“光阀”也用于本文中。一般地，所述图案与在靶...
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