技术编号：2795709
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子装置。更具体而言，本发明涉及一种保护一微机电装置免受物理损坏的封装系统和方法。背景技术微机电系统(MEMQ包括微机械元件、激励器和电子设备。微机械元件可使用沉积、蚀刻或其他可蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成电和机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的MEMS装置被称为干涉式调制器。干涉式调制器可包含一对导电板，其中之一或二者可为全部地或部分地透明及/或反射性的，且能在施加一个适当的电信号时作出相对运动。其中一个板可包...
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