技术编号：2795753
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于投影光刻机的调焦调平装置，特别是具有光栅和参考光栅的调焦调平装置。背景技术投影光刻机的调焦调平装置其光线入射角很大，很难保障每个测量点在硅片上清晰成像，进而影响测量精度。为此CANON公司US 5414515专利中用补偿光学的方法实现每个测量点清晰成像；NIK0N公司US5602399专利中利用倾斜棱镜的方法；SMEE公司CN101477319A中采用倾斜掩模板设计；CN 100559278C中采用反射阶梯棱镜的方法；北理工CN 1005...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。