技术编号：2796002
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多级等能量分光系统，尤其涉及一种适用于激光刻膜机中的精密多级等能量分光系统。背景技术非晶硅太阳能电池的生产流程中，涉及底层电极、中间光伏效应层和表面欧姆接触电极层的薄膜沉积，以及各个膜层的刻蚀，激光刻蚀技术相比传统的掩膜法具有更高的生产效率以及稳定的产品质量，已较好地应用于太阳能电池的生产工艺流程中。目前，为了提高激光刻膜机的生产效率，通常采用几套激光刻蚀系统进行刻蚀。这些激光刻蚀系统可以采用几套激光头进行刻蚀，也可采用一激光头分多路激光进行...
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