技术编号：2796136
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻机中动镜的安装与调整，也可用于企业生产中对工件的安装检测与调试。背景技术在投影光刻机中当物镜装调完成后，由于在制造过程中不可避免的出现加工误差以及装配过程中产生的装配误差，会造成物镜系统成像质量下降，偏离理论值，为改善成像质量，需要对物镜中某些特定镜片进行X、Y方向上的调节，以校正装配误差，提高成像质量。发明内容为了解决现有技术的问题，本发明的目的是提供一种动镜微调装置，使得动镜在安装调整过程中不会因外力的作用而产生应力变形，提高了物镜对...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。