技术编号：2796264
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻领域，尤其涉及使用拼接的多光源的光刻装置。背景技术随着光刻技术的发展，对曝光系统的照度要求要求越来越高、体积要求越来越小，单一的光源很难满足这样的发展要求，因此产生了集合多个光源的光能进行光刻的视场需求。如美国专利US5991009中所公开的光刻机，如图1所示，采用了两个汞灯作为光源，使用光学透镜组，将光能合二为一用来曝光。该方案可以同时使用两个汞灯光源，与市场上大多数光刻机相比，具有照度上的明显优势，但是，同时其体积太大的缺点也较为明显。发...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。