技术编号:27962935
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及气相炉设备技术领域,更具体的说是气相沉积炉废气过滤系统。背景技术.申请号为cn.公开的一种旋转式气相沉积炉的冷却装置,旋转式气相沉积炉呈中空的圆柱体,冷却装置包括热传导冷却机构和喷淋水冷却机构;热传导冷却机构包括多个均布于旋转式气相沉积炉外壁上的翅片;喷淋水冷却机构包括冷却筒,冷却筒包括圆筒以及与圆筒的两端部满焊连接的环形挡板i,旋转式气相沉积炉通过环形挡板i上的中心孔贯穿与其间隙配合的冷却筒,冷却筒的上部设有通过管路与储水池中的水泵连接的进水管,进...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。