一种采用阵列波导光栅的拉曼光谱仪芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:2796327

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本发明涉及一种采用阵列波导光栅的拉曼光谱仪芯片。技术背景微型拉曼光谱仪能够测定特定的化学成分,在食品安全、医疗卫生、环境检测等领域具有广阔的应用前景。微型拉曼光谱仪已有很多商用产品,但这些产品在应用中还存在着价格高、波长分辨率低、体积重量大等缺点,如美国AhuraScientific公司的微型拉曼频谱仪,美国DeltaNu公司的掌上型拉曼光谱仪等,其结构与传统的拉曼光谱仪的结构相同, 是大型光谱仪的小型化,但在小型化的同时也造成了光学性能的降低。发明内容本...
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