技术编号：2796435
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学测量，特别是一种空间移相菲索球面干涉仪。 背景技术菲索干涉仪将参考臂包含在测量臂中，实现了测量光与参考光的共光路干涉而具有很高的测量精度，在光学测量中应用广泛。菲索干涉仪与空间移相器结合形成的空间移相菲索干涉仪可以实现抗振动测量，降低了对测量环境的要求，还可以进行波面的实时测量。在先技术[1](参见 Sanjib Chatter jeea, Y. Pawan Kumara, et al. . Measurement of surface fi...
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