技术编号：2796526
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻机中物镜的安装与调整，也可用于企业生产中对工件的安装检测与调试。背景技术在投影光刻机中当物镜装调完成后，由于在制造过程中不可避免的出现加工误差以及装配过程中产生的装配误差，会造成物镜系统成像质量下降，偏离理论值，为改善成像质量，需要对物镜中某些特定镜片进行Z方向上的调节，以校正装配误差，提高成像质量。发明内容为了解决的技术问题，本发明的目的是提供一种动镜轴向微调装置。为了实现所述目的，本发明提供的动镜轴向微调装置，解决其技术问题所采用的技...
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