技术编号：2797934
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于集成光学，具体涉及一种利用溶胶凝胶方法中的DC-RTA技术(Dip Coating-Rapid Thermal Annealing，拉膜-快速热致密)制备适用于传统离子交换的掺锂玻璃薄膜的新工艺。背景技术 集成光学是光通信和光信息领域未来的发展方向。光波导器件的制备工艺是集成光学的基础。离子交换法是目前比较成熟的一类制备光波导器件的技术，具有设备简单、工艺简便、成本低廉等优点。但是离子交换法所适用的玻璃材料目前只能通过熔融法获得，所以迄今为止离子...
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