技术编号:2798529
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在玻璃基片(玻璃片)上的电子部件的制造,具体涉及在所述制造过程中用来支承薄基片的支承件。定义在本说明书以及权利要求书中,术语"玻璃"同时包括玻璃和玻璃-陶瓷材料。 背景技术例如在像素化显示器(如液晶显示器(IXD)和有机发光二极管(OLED)显示器) 的生产过程中,在玻璃基片上制造各种电子部件,包括薄膜晶体管(TFT)。此种应用的标准基片厚度过去是0. 7毫米,显示器制造商使用更精密的制造设备来代替使用该种基片的应用。近来,玻璃制造商制造了薄得多...
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