致动器及使用致动器的光扫描装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2798543

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本发明是关于致动器及光扫描装置,特别是关于驱动驱动对象物使其围绕转动轴倾斜运动的致动器及使用致动器的光扫描装置。背景技术过去,知道一种通过使具有在硅板(silicon plate)上形成反射镜部的振动体的至少一部分振动,而使入射到反射镜部的光的反射方向变换进行光扫描的光扫描装置,其中振动体具有与反射镜部连接的产生扭曲振动的第1弹力部及与第1弹力部连接产生弯曲振动和扭曲振动的多个第2弹力部,将第2弹力部的另一端全部与固定框部连接固定,并在第2弹力上安装使自身...
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