紧凑电光调制器的制作方法技术资料下载

技术编号:2798596

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本发明一般来说涉及混合式电子与光学装置,且更特定来说涉及电光装置及其制造方法。背景技术此部分介绍可帮助促进对本发明的更好理解的方面。因此,这些陈述应鉴于此来阅读且不应理解为关于什么是现有技术或什么不是现有技术的承认。对在电信及计算应用中使用混合式电子光子装置存在极大兴趣。对具有紧凑大小及减小的驱动功率的电光调制器用于电子光子装置中的信息传输感兴趣。发明内容本发明的一个实施例包括一种包含平面电光调制器的设备,所述平面电光调制器位于衬底上且包括波导及电触点。所...
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