技术编号：2798638
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及法布里珀罗(Fabry-Perot)干涉仪以及法布里珀罗干涉仪的制造方法。更具体地，本发明涉及使用微机械(MEMQ技术制造的可调法布里珀罗干涉仪。本发明的在独立权利要求的前序中指出。背景技术法布里珀罗干涉仪例如用作光学滤波器以及用在光谱传感器中。法布里珀罗干涉仪基于平行镜，从而法布里珀罗腔形成为在镜之间的间隙。可以通过调整镜之间的距离 (即间隙宽度)来控制法布里珀罗干涉仪的通带波长。通常使用微机械技术来制造法布里珀罗干涉仪。例如，专利文献FI95...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。