技术编号：2798766
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使光掩模与将一定的图案形成为矩阵状且沿一方向输送中的被曝光体进行位置对合的对准方法，详细而言，涉及即使对于复杂图形的图案也能够进行高精度的位置对合的对准方法、对准装置及曝光装置。背景技术以往的这种对准方法通过将多个 受光元件在与滤色基板的输送方向正交的方向上排列成一直线状而成的摄像机构，拍摄在滤色基板(被曝光体)上形成的矩形形状的多个像素，基于该摄像图像的亮度信息来检测滤色基板的左端像素的左侧缘部的位置，算出该左端像素的左侧缘部的位置与预先设定于...
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