技术编号：2798798
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种板状物体的加工设备，特别是板状物体的曝光设备，所述加工设备具有曝光装置和载物台，所述载物台具有用于容纳物体的载物台面，其中，曝光装置和载物台为曝光物体而能彼此相对运动。背景技术这样的加工设备是公知的。这样的加工设备例如用于激光加工板状物体。但也可以考虑的是，将这样的加工设备用作用于板状物体的一特别是用于具有光敏涂层的板状物体的曝光设备，其中，光敏涂层内的结构可以通过光刻技术来产生。这样的加工设备方面存在的问题是，在将板状物体放置在载物台上或者...
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