技术编号：2798862
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。更具体来说，本发明涉及利用扫描曝光在长的片材表面上的多个区域上形成图案的图案形成设备和图案形成方法，并且涉及使用这种图案形成方法制造电子装置的装置制造方法。背景技术本申请要求2009年7月17日提交的61/226433号美国临时申请和2010年7月 9日提交的12/833632号美国专利申请的优先权，这两个申请的内容通过引用包含在本文中。平面显示面板(如液晶显示面板和等离子体显示面板)的尺寸日益增大。例如， 在液晶显示面板的情况下，边长大于3米...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。