技术编号：2799012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体地涉及一种通过加入可提高光致抗蚀剂的耐热性及分辨率的酚醛清漆树脂，以获得具有优异均匀性及粘合性图案的光致抗蚀剂组合物。背景技术 为形成液晶显示装置的电路或半导体集成电路等微细电路的图案，首先在基板上的绝缘膜或金属导电膜上均匀地涂敷光致抗蚀剂组合物。然后，通过使用预定形状的掩膜，使光致抗蚀剂覆膜曝光、显影而形成预定形状的图案。之后，使用掩膜对金属膜或绝缘膜进行蚀刻，除去...
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