一种测量LDI内层对位精度的装置的制作方法技术资料下载

技术编号:28004462

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一种测量ldi内层对位精度的装置技术领域.本实用新型涉及直接成像设备对位技术,特别涉及一种测量ldi内层对位精度的装置。背景技术.目前印刷电路板(pcb)随着电子产品的兴起越来越精密,对多层线路板的需求也逐渐提升。多层线路板的良率大程度依赖于内层板的制作精度。在内层制造工艺中,最重要工艺之一是菲林曝光。该工艺存在菲林涨缩、对位精度难以再度提升、打样流程繁琐等众多缺点,已逐渐由激光直写曝光(ldi)工艺取代。.ldi在机构、软件、成本方面存在限制,目前还未能突破直接双面曝光,造成内层板需要翻...
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