一种波导阵列多光束整形装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2800534

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一种波导阵列多光束整形装置[0001]本实用新型涉及激光,尤其涉及一种波导阵列多激光光束整形装置。背景技术[0002]在集成光学领域,平面光波导技术,因采用半导体制程,不仅具有低成本潜力,而且具有整合器件能力,被视为集成光学拼图中重要的一块。目前,平面光波导被广泛应用于光通信领域,通常采用多通道波导,在输入输出端都与光纤或光纤阵列耦合,例如基于平面光波导IXN分路器、NXN耦合器。这类应用中,通常输入输出光具有相同的波长、光束质量。[0003]在生物医学应...
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