光波导芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:2801737

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本实用新型涉及光电器件,尤其是光波导芯片。背景技术随着光通讯和光传输的普及,传统的微光学器件和电子器件正被集成光学中集成光电器件所代替,集成光电器件中光与电的耦合以及光波导与传输光纤的连接和耦合,成为集成光电器件芯片集成和封装必须考虑的关键技术。现在实行的光波导芯片I和光纤装置2的对接耦合,是采用如图1和2所示的结构,其中加了上盖板12的光波导芯片I在端面上抛磨成8°角3,与抛磨成8°角3的光纤装置2对接耦合,使阵列光波导和阵列光纤的光纤芯完全对准,然后用...
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