光刻胶组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:2802357

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本发明涉及一种化学增幅(chemically-amplified)型正性光刻胶组合物,它包含具有缩醛和脂环基的树脂。本发明的光刻胶具有显著提高的平版印刷性能。本发明优选的光刻胶包含一种或多种光致酸生成化合物和一种或多种酚醛树脂,所述树脂包含取代基,所述取代基包含共价键连接的一个或多个光致酸不稳定缩醛的基团和一个或多个脂环基团(例如金刚烷基)。背景技术光刻胶是用于将图像转印到基材上的光敏膜。它们形成了负性或正性图像。在基材上涂覆光刻胶后,所述涂层通过有图形的...
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