技术编号：2802366
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种光阻清洗剂，尤指一种包含乙酸丙二醇单甲基醚酯(Propylene glycol mono-methyl ether acetate，PGMEA)或其衍生化合物与环己酮(Cyclohexanone，ANONE)或其衍生化合物成分的光阻清洗剂；此光阻清洗剂命名为“EZseries”溶剂，之后称作EZsolvent。背景技术 为制造液晶显示器(LCD)电路或半导体集成电路内所用的微小电路图案，在基板上的一绝缘体层或导电金属层上均匀覆盖或涂敷一种包...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。