F-θ物镜II的制作方法技术资料下载

技术编号:2802394

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本实用新型涉及一种可用于激光材料加工的扫描设备的F- Θ物镜。背景技术一种用于将入射的激光束聚焦到一个平面的像场中的F-θ物镜,该激光束在一个相对于该F-θ物镜的光轴夹角为+/-Θ的扫描角度区域扫描,其中,在这个扫描角度区域里,扫描角度与在该像场中激光束入射点到光轴距离的比率遵循一个线性函数。也就是说,以一个恒定角速度进行扫描的激光束在该像场中形成了一个以恒定速度移动的焦点。在此,这个焦点的尺寸在该像场中的每个位置都应是恒定不变的。这个焦点的尺寸是由激光材...
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