技术编号：2803671
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物，更详细地说，本发明涉及下述的薄膜晶体管液晶显示装置的蚀刻组合物通过使用该组合物即可利用单一工序来对构成薄膜晶体管液晶显示装置的TFT(薄膜晶体管，thin film transistor)中的作为栅极(gate)配线材料的Mo/AINd双重膜或Mo/AlNd/Mo三重膜进行湿式蚀刻以获得优异的锥形(taper)而不会产生作为下部膜的AlNd或Mo的底切(undercut)现象，同时使得作为源极/漏极(sourc...
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