技术编号：2803736
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明是涉及浸入式显微系统中缝隙流控制装置，特别是涉及一种用于浸入式显微镜(Immersion Microscope)的缝隙流控制装置。 背景技术 在半导体等行业，对细微电子器件的故障解析和可靠性评价是确保成品率的关键。通常采用的方式是将电子器件作为试样，在显微镜下进行观测，以确定是否存在影响其正常工作的缺陷或杂质。然而，伴随着电子器件的特征线宽向着32纳米以下不断缩小，以及基底(如半导体硅片)尺寸的不断增大，传统观测方式的技术成本在迅速上升。浸入...
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