技术编号：2804819
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及干法刻蚀领域，尤其涉及一种下部电极。背景技术现有的显示器包括阵列基板、彩膜基板以及填充在阵列基板和彩膜基板之间的液晶。其中，阵列基板和彩膜基板上分别包括玻璃基板以及设置在所述玻璃基板上包括一定图案的层结构。现有技术中，在玻璃基板上通过镀膜、曝光、刻蚀等工序形成所述层结构，其中，刻蚀包括干法刻蚀和湿法刻蚀。干法刻蚀一般在真空环境中进行，并通过一个下部电极支撑玻璃基板，对所述玻璃基板进行刻蚀。如图1所示，现有的下部电极I包括金属基板2和设置在所述...
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