一种光波导芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:2804838

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本实用新型涉及光通信领域,具体涉及一种光波导芯片。背景技术现有技术的光波导芯片米用光刻技术,实现通过光波导技术把一束光或两束光均匀地分成多路光。光波导芯片具有较高的光学性能,高稳定性和可靠性。光波导芯片一般包括基片、沉积于基片上的波导芯层、沉积于波导芯层上的上包层以及蚀刻于波导芯层内的光路。现有技术中,人们已经发现了光学漩涡,其中的光线可以向左或向右扭转,以螺旋线的方式,就像漩涡或龙卷风,在一个空心的圆锥形光束中传播。漩涡光线可以具有不同的扭转度,因此,与...
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