技术编号：2807425
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是利用薄膜分光的一种1∶1折反射式光学系统，主要用于精细图形照相复制，如用在制造大规模集成电路芯片的光刻机上。已有技术中国科学院上海光学精密机械研究所发明人王之江发明的有象差校正的1∶1折反射式光学系统，专利申请号91107489.9，该系统由三角棱镜组1、两弯月透镜构成的透镜组4和平凸透镜5组成的消象差折射镜组2和主反射镜3构成。三角棱镜组1胶合于消象差折射镜组2的第一面上，两三角棱镜各占第一面口径的一半，用来使物象分离，结构示意图如图1所示，图中...
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