技术编号：2807642
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光学元件，更具体地说，本实用新型是关于激光干涉调焦装置的。随着微电子技术的迅速发展，对调焦技术的应用日益扩大。目前的调焦技术很多，按其原理可大致分为两类，一类为光电调焦，另一类为气动调焦。1986年第1期的《光学仪器》杂志上公开了“轮廓光电自动调焦系统”一文，该文介绍了一种调焦方案。该方案的主要内容是光源通过聚光镜以平行光照明轮廓分划板，通过反光镜、物镜，经硅片反射，成像于物镜的物面上，然后通过10倍物镜，经振子将直流信号转变成交流信号，再成...
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