光学滤光器或多路复用器/多路分用器的制作方法技术资料下载

技术编号:2807878

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本发明涉及光学滤光器及光学多路复用器/多路分用器,且特定来说,涉及在光子集成电路(PIC)中制成的光学滤光器及多路复用器/多路分用器。背景技术已知,例如硅、氮化硅及磷化铟等某些材料具有显著的热光系数。此意 味着,所述材料的折射率随着温度的改变而改变。如果使用此种材料来构造滤光器,那么滤光器频谱通常将随着温度改变而在波长上移位。此热光系数针对硅为约O. lnm/°C、针对氮化硅为约O. 02nm/°C且针对磷化铟为约O. lnm/°C。发明内容折射率的此温度...
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