技术编号：2808044
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示器制造领域，尤其涉及一种利用氧气的等离子体去 除模拟基板上聚酰亚胺膜的方法。背景技术液晶单元的制作是液晶显示器制造过程中重要的一步，其制作过程包括聚酰亚胺(polyimide，以下简称PI)膜涂覆、PI膜烘烤、PI膜配向等， 其中PI膜是确保液晶分子按要求取向并形成一定预倾角的功能性膜层。其 中，在PI膜涂覆和PI膜配向的过程中，由于工艺的要求必须提前进行工程 状态模拟，以保证在实际生产过程中PI膜涂覆厚度的均一性和PI膜配向后 特性的一...
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