技术编号：2808337
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光光束波面整形，特别是一种用于实现激光束 在远场衍射光斑主斑能量提升和尺度压缩的部分环带光子筛及其制作方 法。该部分环带光子筛可用于光束整形、微电子无掩模刻蚀、强激光能量 集中和其它需要能量聚焦到中心光斑的各种仪器中。背景技术通过各种途径对于激光衍射斑主斑进行能量提升和尺度压缩，并且抑 制旁斑的能量是实用的课题。在光束整形、微电子无掩模刻蚀、强激光能 量集中和其它需要能量聚焦到中心光斑的各种仪器中均需要极小的主斑 宽度和极高的主斑能量。位相调制...
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