技术编号：2808852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及各种电子器件的制造中使用的光掩模和制造这样的光掩 模的光掩模的制造方法。须指出的是，作为各种电子器件，列举以平板显示(FPD)装置为代 表的显示装置，特别是液晶显示装置(LCD)等。本发明涉及在它们的制 造中，例如薄膜晶体管(TFT)和滤色器(CF)等的形成中有用的光掩模 和制造这样的光掩模的制造方法。背景技术现在，在液晶显示装置(LCD)的领域中，具备薄膜晶体管(ThinFilm Transistor以下称作TFT)的液晶显示装置(Thin F...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。