技术编号：2808857
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成光电子器件，特别是一种光波导器件。 背景技术基于硅的电光调制器利用自由载流子色散效应来调制光波相位移。在这些器 件中，电光调制的物理媒体是一个光波导和电容器的复合体，在这个复合体中， 电容器所存储的电荷量的改变将改变光波在波导中传播时所积累的相位移。这个 复合体我们这里称为波导电容。无论是金属-氧化物-半导体MOS电容还是其他已被使用的波导电容，其调制 效率都不高，主要体现在电容器中，电荷调制的区域在整个光波导的截面积内所 占比例小，同时...
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