技术编号：2808963
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过反应溅射形成的透明绝缘膜、该透明绝缘 膜的制造方法以及溅射耙。背景技术近年来，已推进了利用电润湿(电毛细管现象)的电润湿装置 的开发(例如，见PCT国际公开第WO 99/18456号)。电润湿是这 样一种现象，其中，在导电液体和电极之间施加的电压改变电极表 面与液体之间的固-液界面能，乂人而改变液体表面的形一犬。典型的电润湿装置包括导电的第一液体、绝缘的第二液体、形 成包含第一和第二液体的液体室的一对基板(下部和上部基板)、 在下部基板的...
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