光波导薄膜和光基片以及它们的制造方法技术资料下载

技术编号:2809366

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本发明涉及,更详细地说,涉及 光波导薄膜及其制造方法、具有光波导薄膜的光基片及其制造方法。背景技术以往,已知利用光波导薄膜,对设置在光基片上的多个光学元件之间进行 光连接。这种光波导薄膜配置在光基片时需要对光基片精密定位,以确保光路 准确。作为这种光波导薄膜,例如已提出由多个光布线层组成并以硬化型粘接剂为中介形成在硅基片上的光布线薄膜(例如参考日本国专利特开2002—116334号公 报)。此方案中,在光布线薄膜表面和支承基片表面,将对位图案形成为厚度方 ...
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