基板装置、它的检测方法、电光器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:2809675

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专利说明 [发明的]本发明属于适合用作譬如液晶器件等电光器件中的TFT阵列基板等的基板装置及其电学检测方法的,并且还属于具有这种基板装置的液晶器件等电光器件及其制造方法,以及具有该电光器件而构成的各种电子装置的。在薄膜晶体管(以下适当地称为TFT)驱动型液晶器件等电光器件中,在玻璃基板、石英基板等绝缘基板上,用高温或低温多晶硅、无定形硅等作为半导体层的薄膜晶体管被制作在各像素处,作为像素电极的开关控制之用。在多晶硅型TFT的场合,大体说来,晶体管特性良好,...
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