技术编号：28099564
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种像素阵列基板、包括该像素阵列基板的图像传感器以及一种用于防止沉积在包括像素阵列的半导体基板上的薄膜中的缺陷的方法。背景技术.在诸如独立数码相机、移动设备、汽车组件和医疗设备之类的商业产品中，相机模块包括图像传感器。图像传感器包括像素阵列以及，在围绕像素阵列的外围区域中，包括模拟设备。图像传感器包括半导体基板和基板背表面上的钝化层。钝化层由于材料引起的应力而易于产生气泡缺陷，特别是在大表面区域周围。气泡缺陷常常成为钝化层的破裂区域或剥离区域，这增加了外围模拟设备中的噪声，并因此...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。