技术编号：2810063
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。,以及曝光方法及装置的制作方法本发明涉及用来去除附着在光学部件表面的污染物质的污染物 质去除技术，尤其适用于用来去除作为啄光光源使用准分子激光光源 等的投影曝光装置的照明光学系统或投影光学系统中的光学部件表面 附着的污染物质。背景技术不仅投影曝光装置用的光学部件，在分类为光学部件的部件之 中，由于表面存在附着的异物往往会使光线的透射率下降及引起照度 不均，无法获得本来应有的光学性能，因而提出各种解决办法。在眼镜透镜以及汽车的风档玻璃之类主要讨厌由水滴造成的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。