技术编号：2810281
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。0001本发明涉及薄膜晶体管阵列基板的制造方法，还涉及装有用上述 薄膜晶体管阵列基板的制造方法制造的薄膜晶体管阵列基板的显示装 置。背景技术0002薄膜晶体管(以下也称为rTFTJ (ThinFilmTransistor))作为有源矩 阵(active matrix)液晶显示装置(AMLCD Active-Matrix Liquid-Crystal Display)的像素驱动用晶体管而被广泛釆用。在TFT中非晶质(无定形 (amorphous)硅(Si)膜...
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