技术编号:28108853
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体装备技术领域,具体涉及一种半导体工艺设备数据采集系统和方法。背景技术.基于semi interfacea标准的eda(equipment data acquisition,设备数据采集)项目采用的是wcf(windows communication foundation,windows通信基础)通信,绑定协议使用的是nettcpbinding协议(通过tcp协议进行通信)。wcf(windows communication foundation,windows通信基础)是基...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。