技术编号：2811151
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在衬底保持器的表面上放置衬底的方法，以及一种 包含计算机可执行代码的计算机可读介质，当其被加载入计算机组件中 时，使得该计算机组件能控制这种方法。本发明进一步涉及一种通过基 于有效的传送数据的传送器单元从第一衬底保持器向第二衬底保持器传 送衬底的方法，还涉及一种包含计算机可执行代码的计算机可读介质， 当其被加载入计算机组件中时，使得该计算机组件能控制这种方法。本 发明进一步涉及一种用于支撑衬底的支撑系统、包含这种支撑系统的光 刻设备、使用这种...
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