技术编号：2811363
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密工作台制造技术，特别涉及集成电路制造中使用的高精度微型平台装置。背景技术随着微电子技术集成度的提高，微位移技术直接影响到微电子技术等高精度工业的发展，与之相对应的工艺设备光刻机、电子束和x射线曝光机等， 其定位精度要求为亚微米甚至纳米级的精度，这就要求精密工作台具备相应的 技术水准。发明内容本发明的目的在于提供一种具有高精度、高稳定性的微型平台装置，以保 证运动传递的连续性、无返滞、无摩擦及高精度。为了达到上述的目的，本发明提供一种微型平台装...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。